微电子配套材料技术标准研究项目通过鉴定

　　近日，中国有色金属工业协会在北京组织召开了《微电子配套材料技术标准研究》科技成果鉴定会。与会专家听取了项目汇报，审查了鉴定资料，经过认真讨论，专家认为，项目翻译出版了SEMI全部56项微电子配套材料新技术标准(100万字)，研究了AGTM相关技术标准，分析了SEMI标准及ASTM标准与我国标准的异同，补充和完善了我国微电子配套材料标准体系，对我国半导体产业的发展具有重要的技术支撑作用。该项目制修订了微电子配套材料的产品标准和相关分析检验方法标准29项，首次制定了《硅抛光片表面质量(颗粒)检测方法》等6项国家标准。项目建立了微电子配套材料标准数据库并正式运行，在微电子配套材料标准信息建设方面迈出了重要一步。综合上述情况，鉴定委员会认为该研究成果总体达到了国际水平，其中13项标准达到国际先进水平。