“微电子与纳米材料及特性材料测量技术和计量基标准的研究”课题介绍——“重要技术标准研究专项”（59）

　　“微电子与纳米材料及特性材料测量技术和计量基标准的研究” 是 “十五”国家重大科技专项“重要技术标准研究专项”之一，该课题的主要目的是为纳米技术等领域的发展建立测量仪器与方法的标准化体系。通过研究使我国纳米计量得到突破性的发展，达到国际领先水平，促进和增强我国纳米量值传递体系的发展和建立；形成一些有别于国外现有技术专利的钕铁硼永磁材料结构和性能的评价体系。

　　在中国纳米技术标准化委员会成立大会上，与会专家一致认为纳米量值标准与溯源是我国纳米技术发展亟待解决的问题，并在委员会下成立了纳米尺度的测量方法标准化工作组，着手进行相关的纳米尺度测量仪器与方法的标准制定工作。课题所建立的“2.5维大范围纳米结构测量系统”目前只有美、德两个国家在进行研制，该系统的建立填补了我国在大范围纳米测量仪器上的空白，达到国际先进水平。能够作为我国纳米量值传递体系的重要技术设备和溯源基准，为“重要技术标准研究”专项中涉及到纳米技术、信息技术、材料技术和先进制造等领域标准的制定实施提供有效的技术支撑和验证手段。可以对纳米技术领域的计量设备进行校准、对纳米传递标准提供鉴定测试服务，对部分产品可进行直接测量，保证纳米几何量量值溯源与统一，有利于促进相关高新技术领域的技术转化和产业化发展。满足了国际关键量比对的需求，实现我国纳米技术领域检测数据的国际互认，增强我国高新技术领域产品和技术的国际竞争实力。

　　课题所建立的钕铁硼原料、粉体中间体和成品中总氧量及不同状态氧的分别定量方法和钕铁硼粉体粒度大小分布的定量测定方法，为建立钕铁硼材料中氧及其形态分析方法的标准方法提供了技术基础。所形成的钕铁硼分析测试方法体系现已转化为中国金属学会推荐方法。