《薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片》国家标准送审

　　本标准代替GB/T 14620- 1993《薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片》。

　　本标准与GB/T 14620- 1993《薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片》相比主要变化如下：

　　——细化了划线前后可能对基片外形尺寸造成影响的指标。

　　——在附录A中对基片翘曲度的测试进行了详细说明。

　　——增加了术语和产品标识。

　　本标准的附录A和附录B是规范性附录。

　　本标准由中华人民共和国信息产业部提出。

　　附件：送国-薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片