本标准是对GB /T11446.1-1997《电子级水》的修订,主要参考了ASTM D5127-99《电子及半导体
工业用超纯水标准指南》及ASTM D1129-02A《与水相关的术语》等标准。
本标准与GB /T 11446.1-1997《电子级水》相比,主要有下列变化:
1、增加了“离子交换树脂”、“无菌” 和“pH值”的定义。
2、增加了“铁”和“铅”金属离子的要求和指标。
3、增加了“氟”、“亚硝酸根”和“溴”阴离子的要求和指标。
4、增加了“氟离子”、“亚硝酸根离子”和“溴离子”的检测方法。
5、修改了“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”级水的电阻率指标。
本标准由中华人民共和国信息产业部提出。
本标准由中国电子技术标准化研究所归口。
附件:
送国-电子级水