微机电系统（MEMS）标准技术研讨会在广州召开

　　2013年6月3日至7日，IEC TC47/SC47E/WG1,WG2和SC47F/WG1在广东省广州市隆重召开了工作组会议和微机电系统（MEMS）标准技术研讨会，此次会议由中国电子技术标准化研究院和中国电子科技集团公司第十三研究所共同承办。

　　会议由来自中国、日本和韩国的18名专家及代表参加，本次会议得到了国内众多科研单位的支持，中方与会代表有中电13所郭文胜主任和李丽霞高工，航天704所的金小峰高工，东南大学的周再发教授，全国微机电标准化技术委员会秘书处李海滨工程师以及中国电子技术标准化研究院的周俊、张秋、韩轶和李博等。各参会代表会前都做了充分的准备，研读了会议议程和将要讨论的标准文件，汇总了以前投票时提出的修改意见，并准备了关于能量采集系统的学术报告。

　　在历时5天的会议中，中日韩3国代表分别对TC47E和TC47F中微波二极管和晶体管、微波集成电路放大器相关标准发展情况进行了介绍，对微波器件国际标准和MEMS传感器国际标准提案进行讨论，对标准草案进行了讨论、修改，对湿度对传感器影响的鉴定检验、流量计的相关标准和液体电容式传感器的降解液体等标准进行了研讨。MEMS标准技术研讨会上，来自中、日、韩的专家做了有关MEMS器件可靠性和能量收集系统的技术报告，并在会上讨论了MEMS工艺对器件可靠性的影响以及能量收集系统的发展趋势。

　　会后各国代表高度肯定了中国电子技术标准化研究院和中国电子科技集团公司第十三研究所对此次国际会议的筹办工作，希望各国专家及相关标准机构能够深入合作，推动SC47E/SC47F领域标准的制定推行工作。工作组对2013年10月份在英国举办的TC47年会充满了期待，希望本次与会专家能够积极参与其中。