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北京市高等教育精品教材立项项目 微机电系统技术基础
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    　　本书系统地介绍了有关微机电系统的知识，主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系统的加工技术、微机电系统的设计技术，微机电系统的组成、检测及应用技术。内容详实、图文并茂。
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