本书分10章，第1章对超精密加工技术及其应用发展等进行了较为全面的阐述；第2章～第4章介绍超精密加工方法与设备，包括超精密切削、超精密磨削、超精密研磨与抛光、超精密特种加工技术；第5、6、7章论述超精密加工的检测、误差补偿技术，超精密加工材料和环境控制技术；第8、9章介绍超精密加工应用实例；第10章介绍纳米加工技术。本书收集了国内、外超精密加工的大量文献资料和最新研究成果，内容丰富新颖，实例材料翔实。全书配有大量图例，尽量避免出现繁复冗长的公式推导，偏重普及性、实用性和新颖性，在内容深度和语言叙述方面力求面向不同层次的读者。

本书可选作机械工程类研究生和本科生的选修教材和辅助教材，也可供从事机械制造精密超精密加工的科技人员作为参考书使用。