本书主要介绍了洗净主体材料的基本性能，厂房净化技术及原理，高纯气体制备，超纯试剂的纯化等内容；还着重论述了现有常用洗净方法和技术，详述了一些典型洗净范例，尤其是电子行业的清洗。同时，也介绍了新型的清洗技术和方法。通过学习本书可以为掌握现有的洗净技术和原理，并进一步优化和创新新方法、新技术奠定良好的基础。

本书编写过程中参考了大量国内外洗净技术专业资料，着重基本概念的阐述，同时反映近年来洗净技术领域的新技术、新成果。可作为高等院校相关专业教材，也可作为教师、研究生的专业参考书，还可供企业及科研单位的专业技术人员参考。