近年来,真空计量已发展成一个独立的分支,测量范围分为低、中真空、高真空、超高真空(10-6~10-12)Pa,其研究内容已从传统的全压力测量与校准扩展到分压力测量与校准,气体分流量(漏率)测量与校准。
真空技术的发展是随着照明灯泡的产生而发展起来的,真空技术越来越广泛地应用到航空航天、高能物理、材料科学、生命科学、医疗卫生、安全防护、工业生产等行业。真空技术的蓬勃发展对真空计量的需求和要求也越来越高,从而带动了真空计量的发展。
为了填补云南省真空计量的空白,云南省计量院建成了国内先进的真空校准实验室,形成了较完整的真空计量量值传递体系,现已开展测量范围在(1×10-7~1×105)Pa内各种高低真空计的校准工作,并能在漏率范围(1×10-9~1×10-7)Pa·m3s内对标准漏孔进行校准。目前,云南省计量院真空计量检定和校准设备、人员配备及技术水平位居全国前列。
对于军工、电力、安全防护、食品及药品工业生产等各行业使用的各种真空计量来说,定期进行校准才能保证航空航天等科学实验的准确一致和产品质量。云南省计量院表示,将为真空应用提供可靠的技术保障,有效降低能耗,为节能减排工作做出贡献。