“微电子配套材料技术标准研究”课题介绍-“重要技术标准研究专项”（12）

　　“微电子配套材料技术标准研究” 是 “十五”国家重大科技专项“重要技术标准研究专项”之一，该课题以“863”计划实施后的成果以及“十五”期间新开发研制的且市场需求大的微电子材料为对象，如大尺寸的硅单晶材料、砷化镓材料、磷化铟材料等，开展标准化研究与制定工作，主要特点是在制定微电子材料标准的同时，着重制定配套标准，如检测、分析等基础性标准。

课题通过系统收集和分析、翻译和出版SEMI全套有关半导体材料新技术标准和研究相关的ASTM标准资料，了解了国际半导体材料新技术的发展方向，找出了SEMI标准及ASTM标准和我国半导体材料标准的不同之处。同时，结合我国对半导体材料标准的需求，补充和完善了我国微电子材料标准体系，对我国半导体产业的发展具有重要的参考价值。课题完成的制修订微电子材料配套的产品标准和相关分析检验方法标准29项，与我国微电子配套材料行业的水平是相适用的，并对我国半导体产业的发展具有一定的指导意义。标准的总体水平达到了国际水平。其中，达到国际先进水平的13项，国际一般水平的16项。达到国际先进水平的主要是一些原材料产品标准和部分方法标准，达到国际一般水平的主要是深加工产品及大部分方法标准。课题建立了微电子材料标准数据库并正式运行，并将逐步完善，在标准信息建设方面，迈出了重要的一步。

通过课题的实施，可推进我国微电子材料的应用及使用，对规范和指导我国微电子材料的生产和检验具有重要的现实意义。